中间层类型对类金刚石涂层界面结合性能和抗磨损能力的影响

• 作者: 何利民 李迪敏 甄洪滨 纪锡旺 许振华 郝俊文
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石 中间层 抗磨损能力 结合强度
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG17
• 字数: 5198字
• 语种: 中文

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法,合理利用金属Cr靶和TiAl靶,选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层(Cr、TiAl、TiAlN、Cr/TiAl/TiAlN)的复合结构体系类金刚石(DLC)涂层.选用拉曼光谱、光学显微镜、扫描电子显微镜和能谱仪对涂层形貌和结构进行表征测试.同时,利用显微硬度计、洛氏硬度计、划痕测试仪和球磨仪系统地分析了涂层的力学性能.研究结果表明:基体/Cr/TiAl/TiAlN/DLC涂层体系综合性能最佳,具有较高硬度(～3251 HV)的同时结合性能最优(结合力～56.2 N),且抗磨损能力最强.Cr/TiAl/TiAlN较其它中间层可更有效地缓解涂层体系内应力并提高基体/涂层间的结合强度和抗磨损能力.基体/TiAlN/DLC涂层体系复合硬度最高(～3350 Hv),但其韧性最差、结合力最低(～35 N),在硬质合金基体上直接沉积TiAlN作为中间层不利于提高基体/涂层间的结合强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何利民		50	426	10.0	19.0
2	郝俊文	华东理工大学机械与动力工程学院	9	55	4.0	7.0
3	纪锡旺		2	13	2.0	2.0
7	许振华		14	106	6.0	10.0
8	甄洪滨		1	9	1.0	1.0
9	李迪敏	华东理工大学机械与动力工程学院	1	9	1.0	1.0