YBa2Cu3O7-δ/Ba0.05Sr0.95TiO3双层膜的制备及微波频率下的介电性能研究

• 作者: 何豫生 夏丰金 孙亮 徐云辉 李娜 王旭 白丹丹
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜 YBa2Cu3O7-δ薄膜 可调率 损耗角正切
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 255-259
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积(PLD)技术,在MgO衬底上外延生长YBa2Cu3O7-δ/Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜.使用光刻和离子束刻蚀技术,将顶电极制作成插指状,构成BST平面插指电容,研究Ba0.05Sr0.95TiO薄膜在微波频率下的电调谐性能.测试结果表明:在76K,外加直流偏压从0V变到160V,Ba0.05Sr0.95TiO3薄膜的相对介电常数从1160降低到252(可调率约为78％),变容器的损耗角从0.02降到0.009.该YBa2Cu3O7-δ/Ba0.05Sr0.95TiO异质结薄膜介电可调率高,损耗正切小,与国际最好水平相当.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜	中国科学院物理研究所	207	2106	25.0	37.0
2	王旭	中国科学院物理研究所	96	1243	18.0	33.0
3	孙亮	中国科学院物理研究所	48	343	10.0	17.0
4	何豫生	中国科学院物理研究所	24	84	5.0	8.0
5	夏丰金	中国科学院物理研究所	1	0	0.0	0.0
6	徐云辉	中国科学院物理研究所	1	0	0.0	0.0
7	白丹丹	中国科学院物理研究所	1	0	0.0	0.0