基于Al／MoOx纳米复合薄膜的含能半导体桥研究

• 作者: 付帅 叶迎华 朱朋 李东乐 沈瑞琪
• 来源期刊: 爆破器材
• 学科: 工学
• 关键词: Al/MoOx 纳米复合薄膜 含能半导体桥 点火起爆特性 等离子体测温
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 基础理论
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TJ51|TJ450.1
• 字数: 3387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8352.2013.06.001

摘要

使用微细加工和磁控溅射技术将Al/MoO x 纳米复合薄膜集成于半导体桥（ SCB ），制成含能半导体桥SCB-Al/MoO x 以提高SCB的点火能力。薄膜的SEM、DCS和XPS结果表明，复合薄膜成膜质量好，层状结构清晰，放热量可达3200 J/g，达到理论值的68％（理论放热量为4703 J/g），MoOx 薄膜含有32％的MoO3、37％的Mo2O5以及31％的MoO2。电容激励发火实验表明：相同激发条件下， SCB-Al/MoOx 反应终止时间较SCB显著缩短，能量输出效率高于SCB ，发火时溅射出的火花量明显增多，持续时间显著延长，使用原子发射双谱线测温法得到的等离子体温度亦高于SCB。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶迎华	南京理工大学化工学院	123	751	15.0	19.0
2	沈瑞琪	南京理工大学化工学院	171	1017	16.0	20.0
3	朱朋	南京理工大学化工学院	30	147	7.0	10.0
4	付帅	南京理工大学化工学院	13	69	6.0	8.0
5	李东乐	南京理工大学化工学院	3	35	3.0	3.0