一种新型光谱共焦位移测量系统研究

• 作者: 柳晓飞 牛春晖 邓文怡 金博石
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱共焦 高斯拟合 标定 精度分析 位移测量
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 34-36,40
• 页数: 4页
• 分类号: O439|TP212
• 字数: 2445字
• 语种: 中文

摘要

设计并搭建了一种光谱共焦位移测量系统.利用高斯拟合算法拟合每组实验数据,获取光谱响应曲线峰值对应的光波长值,采用Levenberg-Marquardt算法优化求解高斯函数的参数向量;利用双频激光干涉仪对系统进行标定,获得光波长和反射镜位移之间的对应关系;对整个系统作精度分析.实验结果表明:高斯拟合算法适合作为该位移测量系统的数据处理方法;用双频激光干涉仪对系统标定的方法能够准确定位反射镜的位置.该设计系统的测量范围为20 mm,测量精度为10 μm,能够满足一定精度的测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛春晖	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	57	146	7.0	10.0
2	邓文怡	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	26	245	8.0	15.0
3	柳晓飞	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	1	22	1.0	1.0
4	金博石	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	2	37	2.0	2.0