小型涡轮分子泵动叶片设计与制造技术研究

• 作者: 舒行军 郑越青 陶继忠
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 小型 动叶片 制造技术
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TH36
• 字数: 1367字
• 语种: 中文

摘要

本文从结构设计角度分析了叶片轴向高度h、节距a、叶片角α、叶片数z、叶片厚度δ等结构参数对压缩比的影响,并基于分析结论提出了薄叶片分子泵叶轮的设计思想;采用有限元计算分析涡轮分子泵运行时叶片的应力状态,获知叶片工作时产生的应力几乎与叶片厚度无关,从而为薄叶片的设计提供在强度理论方面的支持;最后,通过工艺优化,试制出薄叶片的小型涡轮分子泵,该试制件在测试中转速达到了60000 rpm,使用效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑越青	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	18	91	6.0	8.0
3	陶继忠	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	44	285	9.0	14.0
4	舒行军	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	18	78	5.0	7.0