聚二甲基二烯丙基氯化铵元件的氨敏性能研究

• 作者: 李冬梅 李霞 梁圣法 詹爽 陈鑫
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 聚二甲基二烯丙基氯化铵 室温 氨敏性能
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1589字
• 语种: 中文

摘要

采用聚二甲基二烯丙基氯化铵(PDDAC)作为敏感膜材料,以聚酰亚胺(PI)薄膜为柔性衬底制备了气敏元件,利用能谱分析(EDX)和原子力显微镜(AFM)对PDDAC敏感膜的组成和形貌进行了表征,通过检测元件电阻随氨气浓度的变化对元件的氨敏性能进行了研究.结果表明:室温下,该元件对体积分数为200×10-6的氨气的响应灵敏度为82％,且具有较好的响应-恢复特性,响应时间和恢复时间分别为68 s和63 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李冬梅	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	35	251	10.0	15.0
2	李霞	青岛科技大学材料科学与工程学院	27	151	6.0	11.0
3	陈鑫	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	26	42	4.0	5.0
4	梁圣法	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	4	13	2.0	3.0
5	詹爽	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	2	6	2.0	2.0