ZnO/MgO(011)的异质外延与特性

• 作者: 周华 康俊勇 杜达敏 杨闻操 王惠琼 耿伟 詹华瀚 陈嘉琪 陈晓航
• 来源期刊: 现代物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化镁 氧化锌 AFM SEM XPS
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 79-83
• 页数: 5页
• 分类号: O48

摘要

本文着重研究ZnO薄膜在MgO(011)衬底上的生长行为。利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了其表面形貌,利用X射线光电子能谱学(XPS)对薄膜的组分进行深度分层剥析,并采用透射谱(XL)研究了其光学性质。结果显示,薄膜以三维模式生长,而且薄膜表面平整度受到衬底温度的影响;而所生长的薄膜均显示了ZnO透射谱的特征峰,特征峰的位置几乎不受衬底温度的影响。不同生长时间段的薄膜结构的演变过程也通过原位的反射高能电子衍射(RHEED)和原子力显微镜进行了考察。XPS分层组分分析发现,在ZnO薄膜生长过程中,Zn离子会扩散到MgO(110)衬底之中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康俊勇	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	29	84	5.0	8.0
2	周华	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	26	72	5.0	7.0
3	陈晓航	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	10	54	3.0	7.0
4	詹华瀚	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	4	0	0.0	0.0
5	王惠琼	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	5	0	0.0	0.0
6	陈嘉琪	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	3	3	1.0	1.0
7	杜达敏	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	2	0	0.0	0.0
8	耿伟	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	3	0	0.0	0.0
9	杨闻操	厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室	1	0	0.0	0.0