多晶硅铸锭炉中准单晶硅锭的生长

• 作者: 侯炜强
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 多晶硅 准单晶 多晶硅铸锭炉 铸锭工艺
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 118-121
• 分类号: TN304
• 字数: 4101字
• 语种: 中文

摘要

介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶生长技术逐渐被人们所重视.通过分析单晶硅晶体生长和多晶硅晶体生长的特点,在自主研发的多晶硅铸锭的基础上,介绍了如何通过设备改进和工艺改进,生长出晶体结构优于多晶硅的准单晶.准单晶制作的电池片光伏转换效率显著高于多晶硅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯炜强	中国电子科技集团公司第二研究所	4	27	3.0	4.0