预制层中In/Cu原子比对CuInSe2薄膜成分、结构和形貌的影响

• 作者: 刘军 招瑜 赵湘辉 颜志强 魏爱香
• 来源期刊: 可再生能源
• 学科: 工学
• 关键词: CuInSe2薄膜 磁控溅射技术 预制层 表面形貌 结构和成分
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试验
• 页码范围: 9-12,17
• 分类号: TM615|TM914.4
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射技术,共溅射CuIn合金靶和纯In靶,CuIn合金靶的溅射功率不变,通过改变纯In靶的溅射功率,制备了具有不同In/Cu原子比的CuIn预制层；然后以固态硒粉为硒源,采用三步升温硒化方式对CuIn预制层进行硒化.通过EDS、XRD和SEM分析方法,研究了预制层中不同的In/Cu原子比对铜铟硒(CIS)薄膜的成分、结构和形貌的影响.结果表明:CIS薄膜主要由CuInSe2相构成,但存在少量的CuSe相,随着CuIn预制层中In/Cu原子比的逐渐增大,CuSe相所占比例减少,CIS薄膜中In/Cu和Se/(Cu+In)的比值也相应增大,CuInSe2大颗粒分布逐渐均匀,大颗粒之间的细小颗粒逐渐消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军	广东工业大学材料与能源学院	19	56	5.0	6.0
2	魏爱香	广东工业大学材料与能源学院	42	197	7.0	11.0
3	招瑜	广东工业大学材料与能源学院	17	86	4.0	8.0
4	颜志强	广东工业大学材料与能源学院	3	6	2.0	2.0
5	赵湘辉	广东工业大学材料与能源学院	4	28	3.0	4.0