PLD制备Mn掺杂ZnO薄膜的光学性能和快速红外光伏响应研究

• 作者: 王文东 赵嵩卿 赵昆 闫坤坤 黄春
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 物理学
• 关键词: PLD Mn掺杂ZnO薄膜 红外光伏响应
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: O48

摘要

使用脉冲激光沉积(PLD)方法在融石英基底上生长不同Mn掺杂量的ZnO薄膜。XRD测试表明,Mn掺杂的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,具有明显的(002)方向择优生长,Mn2+以取代原子的形式存在于ZnO薄膜中,Mn2+掺入后导致了晶格膨胀。薄膜吸收光谱的测试显示出Mn的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,从而改变了ZnO薄膜对光的吸收能力。薄膜具有快速响应的红外光伏效应,其红外光伏信号随激光能量的增加而线性增大,随Mn掺杂量的增多也增大。