基于PLC的磁控溅射温度控制系统设计

• 作者: 汪根生 游锦山 郭金光 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 PLC 温度控制
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: TB753+.9
• 字数: 2040字
• 语种: 中文

摘要

磁控溅射温度控制系统的精度和运行稳定性对沉积结构稳定和性能优良的薄膜材料极为重要.本文以西门子S7-300可编程控制器(PLC)为控制核心,通过触摸屏构成人机交换界面(HMI),论述了磁控溅射温度控制系统的性能特征与控制方法.以STEP 7为软件平台,扩展PLC模拟量输入模块SM331对热电阻标准模拟信号实现A/D转换;在定时中断组织模块(0B35)中循环调用温度功能块(FB58)编程实现对温度的PID闭环控制;结合FB58集成的脉宽调制输出功能,将PID运算结果转换成脉冲占空比控制固态继电器执行.PLC与HMI基于MPI协议实现通信功能,采用WinCC flexible组态友好的控制界面,完成数据输入/输出、参数修改、实时监控和报警联锁.该系统缩短了控制回路的调节时间,并减小超调量,提高了磁控溅射温度控制的自动化水平、控制精度和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院	119	1027	16.0	26.0
2	郭金光		4	10	2.0	3.0
3	游锦山	合肥工业大学机械与汽车工程学院	3	11	3.0	3.0
4	汪根生	合肥工业大学机械与汽车工程学院	6	18	3.0	4.0