GaN基LED中Ag/ITO复合膜的光电性能研究

• 作者: 喻斌 王玉霞
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag/ITO P-GaN 透过率 方块电阻 接触电阻
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 180-184
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2273字
• 语种: 中文

摘要

制备含有不同厚度Ag(0.5、2、4nm)的Ag/ITO多层膜沉积在以蓝宝石为衬底的外延片上并与P-GaN相接触,经过一定的退火处理.研究了Ag厚度、退火温度、退火时间对Ag/ITO多层膜的透过率、方块电阻和接触电阻率的影响.得出这种光电性能优良的Ag/ITO膜作为P型透明电极应用于大功率LED有广阔的前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉霞	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	20	136	6.0	11.0
2	喻斌	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	3	3	1.0	1.0