用计算全息图校正非球面的畸变

• 作者: 张健 杨怀江 王高文 隋永新 高松涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 非球面检测 畸变校正 干涉仪 计算全息图
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1929-1935
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|O438.1
• 字数: 2945字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132108.1929

摘要

针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法.该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应.通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正.仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2％.最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测.利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8 nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸变校正方法的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张健	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	272	3714	30.0	51.0
2	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
3	王高文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	86	6.0	9.0
4	高松涛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	11	22	3.0	4.0