电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

• 作者: 刘飞
• 来源期刊: 贵州工业职业技术学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磷酸 电子级磷酸 纯化技术 发展现状
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ126.35

摘要

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向我国转移，我国将逐步成为全球较大的LCD产业基地，国内电子级磷酸的需求量将日益增长，已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。它们广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂。本文分别对不同级别磷酸的用途作了简要叙述，详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。

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序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘飞	瓮福（集团）有限责任公司技术开发中心	2	0	0.0	0.0