高纯氧化铝陶瓷表面形貌对Mo-Mn法金属化封接强度的影响

• 作者: 尚阿曼 张巨先 高鸣 黄亦工
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯Al2O3陶瓷 表面形貌 高温Mo-Mn法金属化 封接强度
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 陶瓷金属封接和真空电子与专用金属材料分会年会专辑
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TB756
• 字数: 2499字
• 语种: 中文

摘要

本文通过不同烧结温度制备出两种显微结构的高纯Al2O3陶瓷,采用四种不同的加工方式,制备出不同表面状态的高纯Al2O3陶瓷样品.利用轮廓仪测量样品表面粗糙度,并利用扫描电镜对其表面显微形貌进行分析.然后,将各种不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷进行高温Mo-Mn法金属化,并用Ag焊料进行封接.最后,测试出不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度,进而研究高纯氧化铝陶瓷表面形貌对其Mo-Mn金属化封接强度的影响.结果发现,表面未加工高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度高、一致性最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄亦工		16	42	4.0	5.0
2	张巨先		28	335	9.0	17.0
4	尚阿曼		7	25	3.0	4.0
7	高鸣		3	8	2.0	2.0