飞秒激光与准分子激光制作碲掺杂硅探测器

• 作者: 刘德伟 朱小宁 朱洪亮 王宝军 王熙元 黄永光
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 探测器 飞秒激光 准分子激光 碲掺杂 硅探测器
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TN215|TN364+.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0302001

摘要

采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料.利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器.在-4V的反向偏压下,光电响应在1000 nm处达到0.86 A/W,外量子效率大于106.6％;随着反向偏压的增加,光电响应增加,同时截止波长向红外方向拓展,在-8V偏压下,截止波长达到了1235 nm；在-16V偏压下,测得响应在1080 nm处最高达到3.27 A/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱洪亮	中国科学院半导体研究所	32	94	6.0	7.0
2	王宝军	中国科学院半导体研究所	27	315	8.0	17.0
3	黄永光	中国科学院半导体研究所	3	0	0.0	0.0
4	王熙元	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0
5	刘德伟	中国科学院半导体研究所	2	38	1.0	2.0
6	朱小宁	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0