MgO(111)上ZnO薄膜的外延生长及其结构和光学特性

• 作者: 周华 崔琳哲 康俊勇 张纯淼 徐建芳 李亚平 杜达敏 王惠琼 蔡加法 詹华翰 陈晓航 黄巍
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 反射高能电子衍射 透射谱 缓冲层 位错密度
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: TN3

摘要

由于ZnO在光电器件的应用前景,其高质量薄膜的制备是研究热点之一。本文通过分子束外延生长法在MgO(111)单晶衬底上生长ZnO薄膜,表征了其结构和特性,探讨了不同生长条件对薄膜质量的影响。结果表明,先低温生长ZnO缓冲层,再高温生长ZnO薄膜,有望提高ZnO薄膜的质量。原位反射高能电子束衍射(RHEED)和异位的X射线衍射(XRD)分别测量出薄膜的面内结构和沿[0001]的单晶域高取向结构,并确定薄膜和衬底的外延关系为ZnO[01-10]//MgO[1-10]和ZnO[2-1-10]//MgO[11-2]。透射谱显示了ZnO的特征光学带隙。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡加法	厦门大学物理系	27	107	6.0	8.0
2	康俊勇	厦门大学物理系	29	84	5.0	8.0
3	黄巍	厦门大学物理系	11	9	2.0	2.0
4	周华	厦门大学物理系	26	72	5.0	7.0
5	陈晓航	厦门大学物理系	10	54	3.0	7.0
6	王惠琼	厦门大学物理系	5	0	0.0	0.0
7	李亚平	厦门大学物理系	2	0	0.0	0.0
8	杜达敏	厦门大学物理系	2	0	0.0	0.0
9	徐建芳	厦门大学物理系	1	0	0.0	0.0
10	崔琳哲	厦门大学物理系	2	2	1.0	1.0
11	张纯淼	厦门大学物理系	1	0	0.0	0.0
12	詹华翰	厦门大学物理系	1	0	0.0	0.0