磁悬浮分子泵的振动抑制

• 作者: 张剀 张小章 戴兴建 李奇志 武涵 邹蒙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 磁轴承 振动 控制器
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 556-562
• 分类号: TH133.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.06.10

摘要

2000L磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振；陀螺效应造成动力学失稳；叶轮叶片导致转子颤振；成因复杂的机电耦合模态振动.它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计.控制器中,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制；弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位整形方法.试验验证了方法的有效性,分子泵平稳升速到24000 r/min,样机达到了设计真空性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张剀	清华大学工物系	27	345	10.0	18.0
2	张小章	清华大学工物系	49	413	12.0	19.0
3	戴兴建	清华大学工物系	59	998	16.0	30.0
4	武涵		2	17	1.0	2.0
5	邹蒙		1	16	1.0	1.0
6	李奇志		1	16	1.0	1.0