非低温法的稀有气体纯化技术概述

• 作者: 关堂新 吴亮 许令顺
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: 纯化 氦气 膜分离法 变压吸附法(PSA) 变温吸附法(TSA)
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 字数: 2564字
• 语种: 中文

摘要

稀有气体广泛应用于工业生产中,如离子刻蚀、检漏等.但是它们在地球上的含量比较少,属于稀有资源,因此需要对它们进行纯化以循环再利用.首先介绍了不同气体纯化的原理,然后以实际生产中的不同稀有气体使用范围为例,说明纯化装置的设计方法和需要考虑的问题.为以后气体纯化装置的设计提供借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关堂新		3	0	0.0	0.0
2	吴亮		7	48	4.0	6.0
3	许令顺	中国电子科技集团公司第十六研究所	7	20	3.0	4.0