一种集成式硅MEMS振动陀螺仪

• 作者: 何洪涛 卢新艳 徐永青 徐淑静 李博 杨拥军 罗蓉 胥超
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 SOI工艺 圆片级真空封装 集成封装 专用集成电路(ASIC)
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 501-505
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.08.005

摘要

介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪.首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理；在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果；加工工艺采用圆片级真空封装SOI工艺,介绍了工艺流程；检测电路采用数字化ASIC电路,给出了电路原理框图；采用LCC30陶瓷外壳实现了陀螺的集成封装.最后介绍了陀螺的研制结果和典型参数,陀螺量程达到±500°/s,零偏稳定性和重复性达到5°/h,标度因数非线性为1.5×10-4,重复性为5×10-5,重量仅为1.85 g,功耗为0.125 W,可满足大部分工程应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	45	4.0	5.0
2	徐永青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
3	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
4	何洪涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	53	4.0	7.0
5	胥超	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	30	4.0	5.0
6	徐淑静	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
7	罗蓉	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	16	3.0	3.0