光学加工中真空夹具设计及分析

• 作者: 孙振 李显凌 陈华男
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空夹具 光学元件 防护层 光学加工
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TP271
• 语种: 中文

摘要

为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析.首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具；接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构；最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证.仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1 μm～0.32 μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14.该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈华男	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	17	3.0	4.0
2	李显凌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	18	82	5.0	8.0
3	孙振	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	21	3.0	4.0