夹具形状对硅抛光片表面质量的影响

• 作者: 杨洪星 陈亚楠
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅抛光片 夹具形状 清洗技术 色斑
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 122-124
• 分类号: TN605
• 字数: 2106字
• 语种: 中文

摘要

在硅抛光片的清洗技术中,湿法清洗技术仍然是主流清洗技术.随着抛光片尺寸增大,传统的手工清洗方式和半自动清洗方式已经不适于大尺寸硅抛光片的清洗,因此全自动湿法清洗设备逐步在大尺寸硅抛光片清洗设备中占据主导地位.在湿法清洗工艺中,夹具形状对清洗槽中液体的流动有着较大的影响,若夹具形状设计不合理,将影响抛光片表面沾污的去除,在抛光片表面形成“色斑”缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈亚楠	中国电子科技集团公司第四十六研究所	14	30	3.0	4.0
2	杨洪星	中国电子科技集团公司第四十六研究所	50	145	6.0	8.0