Ag作催化剂制备的GaN的形貌及其性能

• 作者: 余春燕 朱琳 梁建 许并社 邵桂雪 马淑芳
• 来源期刊: 无机化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 催化剂Ag CVD GaN微纳米结构
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O614.122|TN304.23
• 字数: 3501字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4861.2013.00.019

摘要

用化学气相沉积法(CVD)在Si(100)衬底上以Ag纳米颗粒为催化剂制备了微纳米结构的GaN,原料是熔融态的金属Ga和气态的NH3.采用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)、X-ray能谱仪(EDS)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、光致发光能谱(PL)和霍尔效应测试对样品进行了结构、成分、形貌和发光、电学性能分析.结果表明:生成的自组装GaN为六方纤锌矿的类似小梯子的微纳米单晶结构,且在不同的温度下,GaN的发光性能和电学性能也有所不同,相对于强的紫外发光峰,其它杂质发光峰很微弱,且均呈p型导电.对本实验所得到的GaN微纳米结构的可能形成机理进行了探讨.