光纤引导皮秒激光Al2O3陶瓷精细刻线研究

• 作者: 凌晨 吴燕 季凌飞 李健 蒋毅坚
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 皮秒激光 光纤 陶瓷 精细刻线
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 设计?研究
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TG485
• 字数: 2840字
• 语种: 中文

摘要

作为一项基础研究，提出了一种在陶瓷表面加工凹槽的新方法，利用光纤引导激光在陶瓷表面实现加工，并基于有限元分析法，对光通过光纤的电场强度进行了模拟，从实验和模拟两方面证明了光纤对激光具有光强增强效果，及其对光束的引导作用，能达到材料表面微结构的加工效果。与未用光纤引导激光加工的陶瓷表面做对比，光纤对光强的增强效应使得在具有高熔点、高硬脆物理特性的陶瓷表面产生刻蚀成为可能，小于聚焦光束直径(50μm)的增强区域尺寸保证了加工精度的提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚	北京工业大学激光工程研究院	100	628	12.0	21.0
2	李健	北京工业大学激光工程研究院	73	248	9.0	12.0
3	季凌飞	北京工业大学激光工程研究院	33	207	7.0	14.0
4	吴燕	北京工业大学激光工程研究院	8	62	2.0	7.0
5	凌晨	北京工业大学激光工程研究院	3	57	1.0	3.0