激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用

• 作者: 刘威 叶交托 王春青 田艳红 窦广斌
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光诱发转移技术 微细加工 薄膜 电子制造
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 70-72
• 分类号: TG456.9
• 字数: 2577字
• 语种: 中文

摘要

激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术.转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积.作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春青	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	96	921	16.0	24.0
2	田艳红	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	65	521	14.0	21.0
3	刘威	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	35	177	5.0	13.0
4	窦广斌	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	叶交托	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	3	1	1.0	1.0