微流体系统中微通道制作工艺的研究进展

• 作者: 张高朋 曹伟龙 田桂中
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微流体系统 微通道 仿生微机械 自然微通道
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 512-517,527
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.08.007

摘要

微通道作为决定微流体系统性能的关键元件,其制作材料、工艺与装备是微机械领域的研究热点.现有微通道制作材料主要有硅及其氧化物、玻璃、聚合物三种.综述了不同材料微通道制作工艺的国内外研究现状,包括光刻、腐蚀、热压印、软化拉伸和键合等方法.讨论了现有微通道制作工艺及其设备的特征与不足,工艺过程涉及精密机械加工、化学处理、工程材料、图像处理和自动控制等众多学科,所加工微通道截面多呈矩形、三角形或半圆形,制作设备结构复杂、功能单一且成本高昂.展望了仿生微通道发展方向,简要介绍了玻璃基仿生微通道优化模型和制作设备的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田桂中	江苏科技大学机械工程学院	17	69	5.0	7.0
2	曹伟龙	江苏科技大学机械工程学院	2	16	2.0	2.0
3	张高朋	江苏科技大学机械工程学院	1	11	1.0	1.0