ZSN-800AG2电子束蒸发镀膜机程序化自动控制系统的设计

• 作者: 汪光武
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 人机界面 自动控制 程序块
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TP29
• 语种: 中文

摘要

本文对ZSN-800AG2电子束蒸发镀膜机的控制系统进行了设计,重点对应用iFix组态软件实现工艺过程用户可编程序化的自动控制方法设计以及数据存储和趋势曲线显示等做了设计分析,完成了整机的工艺试验.设备使用证明控制系统界面清晰友善、编程简单、操作方便、数据查阅迅速、系统稳定可靠、工艺重复性好,达到了设计目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪光武		3	1	1.0	1.0