基于丝网印刷法的碱金属热电转换器氮化钛薄膜电极的制备技术

• 作者: 张勋 施文博 陆道纲 马文慧
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碱金属热电转换器 氮化钛薄膜电极 丝网印刷 多孔薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 926-931
• 分类号: TM242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.09.16

摘要

采用丝网印刷法在α-Al2O3基底表面分别以三种不同的氮化温度和时间制备了用于碱金属热电转换器AMTEC的氮化钛(TiN)多孔薄膜电极.通过X射线衍射仪对TiN薄膜进行相分析,同时利用扫描电子显微镜SEM观察薄膜表面孔径和孔隙度,采用表面轮廓仪测量了薄膜厚度并且利用电导率仪测量了薄膜方阻.实验结果表明:试样在900～ 1100℃下氮化2～4h,都可生成择优取向(200)为主的TiN薄膜;TiN薄膜平均孔径随氮化温度增加而减小,孔隙度随着氮化时间增加而增加;随着氮化温度的升高,电导率和氮化时间的关系由正相关向负相关转变;在1100℃下氮化2h可以得到电性能较好的TiN多孔薄膜电极,其电导率为1.43×10 5S·m-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆道纲	华北电力大学核科学与工程学院	95	402	10.0	15.0
2	施文博	华北电力大学核科学与工程学院	2	5	2.0	2.0
3	张勋	华北电力大学核科学与工程学院	5	7	2.0	2.0
4	马文慧	华北电力大学核科学与工程学院	1	2	1.0	1.0