磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能

• 作者: 刘春伟 唐晓红 杜姗 王丽格 程芳 黄美东
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钛薄膜 磁控溅射 透射率 折射率 光学性能 消光系数 晶体结构
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: O434.13|O484.4+1
• 字数: 2308字
• 语种: 中文

摘要

常温下,通过反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上制备氧化钛薄膜.采用X线衍射(X-ray Diffraction,XRD)、光栅光谱仪和椭偏仪对氧化钛薄膜样品的结构和光学性能进行测试,并拟合分析得到薄膜的折射率和厚度等光学参数.结果表明:氧化钛纳米薄膜呈非晶态,其折射率和消光系数随波长的变化而变化,薄膜的透射率测量结果和理论计算结果在350～800 nm光波范围内吻合良好.由于氧化钛薄膜的折射率高且在可见光波段吸收小、呈透明状,是用来构成一维光子晶体的理想组分,有关其光学性能的基础研究对光子晶体的结构设计及其器件的开发应用具有积极的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与电子信息学院	56	185	7.0	10.0
2	王丽格	天津师范大学物理与电子信息学院	8	60	4.0	7.0
3	杜姗	天津师范大学物理与电子信息学院	7	15	3.0	3.0
4	刘春伟	天津师范大学物理与电子信息学院	5	12	2.0	3.0
5	唐晓红	天津师范大学物理与电子信息学院	5	12	2.0	3.0
6	程芳	天津师范大学物理与电子信息学院	4	25	3.0	4.0