溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响

• 作者: 刘先平 宋淑梅 李延辉 杨田林 王雪霞 贾绍辉 辛艳青
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化锌薄膜 磁控反应溅射法 结构特性 电学特性 光学特性
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 155-159
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2|TN305.8
• 字数: 4254字
• 语种: 中文

摘要

在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法,利用纯金属Zn靶,在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜.X射线衍射谱表明氮化锌具有(4 0 0)择优取向,反方铁锰矿结构.研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾绍辉		6	3	1.0	1.0
2	刘先平		3	3	1.0	1.0