RBS和XRD研究Fe、N共掺ZnO薄膜的制备

• 作者: 张斌 施立群 李敏 王建中 荣丽媛
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 卢瑟福背散射 X射线衍射 热氧化法 ZnO:(Fe,N)薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: O722+.4|O484.1|TL99
• 字数: 2559字
• 语种: 中文

摘要

以Zn3N2:Fe为前驱物,用热氧化法在石英玻璃衬底上成功制备了一组Fe、N共掺杂的ZnO薄膜.用卢瑟福背散射(RBS)和X射线衍射(XRD)研究了Zn3N2:Fe在不同热氧化温度下的退火行为和结构演变.实验结果显示:刚长成的样品为Zn3N2:Fe薄膜；300℃氧化后,样品表层的Zn3N2:Fe转化为ZnO:(Fe,N),表层以下的膜层未被氧化；退火温度高于400℃时,Zn3N2:Fe薄膜全部转化为多晶结构的ZnO:(Fe,N)薄膜；500℃退火,薄膜开始向衬底扩散；600℃-700℃退火,薄膜向衬底扩散明显.在XRD灵敏度范围内,薄膜中未发现Fe团簇或与Fe相关的二次相(如Fe3O4、Fe2O3、FeO). SQUID测量显示:在500℃退火条件下,ZnO:(Fe,N)薄膜的室温饱和磁化强度(Ms)最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王建中	复旦大学现代物理研究所	42	173	7.0	11.0
2	张斌	复旦大学现代物理研究所	69	302	9.0	14.0
3	施立群	复旦大学现代物理研究所	21	73	5.0	8.0
4	李敏	复旦大学现代物理研究所	93	463	11.0	17.0
5	荣丽媛	复旦大学现代物理研究所	1	1	1.0	1.0