关于提高扫描电镜图像成像质量的研究

• 作者: 周振新 李丽敏 杜婷
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 二次电子像 背散射电子像 成像质量
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TN16

摘要

主要从仪器参数、操作方法、样品制备、装置本身及安装环境等方面分析了各个参数对扫描电镜成像质量的影响。重点分析加速电压、束斑尺寸、物镜光阑和工作距离等观察参数对成像的影响，总结了提高扫描电镜用于精密合金观察的成像质量的方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丽敏		8	3	1.0	1.0
2	杜婷		7	0	0.0	0.0
3	周振新		2	2	1.0	1.0