Ti,C超过饱和固溶铝基复合薄膜的微结构和力学性能

• 作者: 孙士阳 尚海龙 李戈扬 杨铎 沈洁
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铝基复合薄膜 微结构 过饱和固溶 力学性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 320-324
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|TG174.444|TG146.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2012.00562

摘要

采用Al和TiC靶通过磁控共溅射方法制备了Ti:C≈1的不同Ti和C含量的铝基复合薄膜,研究了Ti和C含量对薄膜微观结构和力学性能的影响.结果表明:Ti和C的共同加入使复合薄膜形成了同时具有置换固溶和间隙固溶特征的“双超”过饱和固溶体,复合薄膜的晶粒尺寸在较低的溶质含量下就迅速减小到100 nm以下,并随溶质含量的增加继续减小.相应地,薄膜的硬度也从纯Al的1.3 GPa迅速提高,在含0.6％(Ti,C)时可达到2.1 GPa,并在含6.4％(Ti,C)时达到最高值7.0 GPa.随溶质含量的进一步提高,复合薄膜逐渐呈现非晶态,硬度也略有降低.研究结果显示了Ti和C双超过饱和固溶对铝基薄膜具有显著的晶粒细化作用和强化效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬		109	1036	18.0	25.0
2	沈洁		61	385	13.0	16.0
3	杨铎		3	5	1.0	2.0
4	尚海龙		16	34	4.0	4.0
5	孙士阳		8	16	3.0	3.0