采用流量计测量复合分子泵抽速装置研制

• 作者: 周旭 池华敬 王双 章其初 郭帅 陈革
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空室 复合分子泵 抽速测量 质量流量计 真空计
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27|TB771
• 语种: 中文

摘要

本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置.本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成.选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm和10 sccm,并联组成流量计组件用于测量输入气体的流量,选用高精度的复合真空计测量真空测试罩内气压.抽速测试结果显示,一台1200 L/s的复合分子泵N2抽速重复测量5次,14个气压测试点对应的抽速的最大相对标准偏差小于2％,重复性好.抽速测量的误差主要由流量计和真空计的系统误差决定.采用流量计测量一台分子泵在气压2.00×10-3 Pa～2.00 Pa范围的抽速,测量时间20 min以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	池华敬	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	14	44	5.0	6.0
2	郭帅	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	14	2.0	3.0
3	陈革	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	18	123	5.0	11.0
4	章其初	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	16	121	5.0	10.0
5	周旭	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	33	3.0	5.0
6	王双	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	13	44	5.0	6.0