基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究

• 作者: 冯焱 吴晓斌 张瑞芳 成永军 李得天 董猛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 材料单一气体的放气率 双通道气路转换 四极质谱计 测试装置
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TB771
• 语种: 中文

摘要

在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率.基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成.该方.法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		55	149	6.0	9.0
2	成永军		34	75	6.0	7.0
3	董猛		7	20	3.0	4.0
4	冯焱		13	54	5.0	6.0
5	吴晓斌	中国科学院光电研究院	12	24	3.0	4.0
6	张瑞芳		7	19	2.0	4.0