基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性

• 作者: 于新峰 倪明阳 巩岩 秦硕
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 投影物镜 运动学支撑结构 光学表面面形 夹持力 复现性 有限元法 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2000-2007
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 3800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132108.2000

摘要

根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性.首先,介绍了运动学支撑结构的原理及镜面变形分析的方法.然后,应用Zernike多项式拟合实测和有限元分析得到的面形,并用两种方法对运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形进行对比,以验证有限元分析模型的正确性.同时,分析了考虑重力情况下运动学支撑结构导致的透镜光学表面变形.最后,用实验的方法测量了运动学支撑结构在重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性.实验和分析结果显示,由运动学支撑结构夹持力引起的透镜光学表面面形均方根(RMS)值的实测值为1.004nm,分析值为0.974 nm,夹持力及重力综合作用下导致的透镜表面Fringe Zernike拟合面形RMS值为2.538 nm,产生的主要像差为离焦、初级三叶像差和二级三叶像差,重复装配过程中引起的透镜光学表面面形的复现性标准差为0.645nm.得到的结果表明,所设计的运动学支撑结构能够保证透镜光学表面面形在重复装配过程中有良好的复现性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
2	倪明阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	14	75	5.0	8.0
3	于新峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	23	4.0	4.0
4	秦硕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	38	3.0	3.0