六氟化钨中杂质含量的测定

• 作者: 周朋云 庄鸿涛 方华 李翔宇 杨康 王少波 郑秋艳
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 氦离子化检测器 傅立叶红外光谱检测器 六氟化钨
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 分析与测试
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2013.05.005

摘要

介绍了一种利用氦离子化检测器(PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法.经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方华		19	79	6.0	8.0
2	周朋云		6	39	3.0	6.0
3	庄鸿涛		16	66	5.0	7.0
4	郑秋艳	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	28	61	4.0	7.0
5	王少波	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	66	209	7.0	11.0
6	李翔宇	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	22	31	3.0	5.0
7	杨康		6	22	3.0	4.0