Ti/Au电极对红外探测器噪声系数的影响研究

• 作者: 吴茂 常玲玲 李岩 李慧
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 关键词: 热敏电阻 噪声系数 Ti/Au电极 界面反应 扩散
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、制品、应用
• 页码范围: 273-278,282
• 页数: 7页
• 字数: 3984字
• 语种: 中文

摘要

Mn-Co-Ni-O系半导体陶瓷是最常见的红外热敏电阻材料,但其与传统的Au电极结合强度不高.本文将Ti/Au双层电极用于半导体陶瓷晶片,研究了Ti/Au电极对界面结合强度和热敏电阻噪声系数的影响规律.研究发现,Ti/Au电极能与半导体陶瓷保持良好的界面结合强度,同时使热敏电阻具有较低的噪声系数；Ti/Au电极影响热敏电阻噪声系数的机理是由于Ti扩散到Au表面形成钛氧化物引起的；在对Ti/Au电极的热处理过程中,Ti与陶瓷晶片基体间发生界面反应,同时Ti元素会向Au薄膜表面扩散；提高Ti/Au热处理温度或增加Au薄膜厚度、减少Ti镀膜厚度均能抑制Ti原子向Au薄膜表面扩散,从而降低热敏电阻的噪声系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	北京控制工程研究所第十二研究室	4	1	1.0	1.0
2	吴茂	北京科技大学新材料技术研究院	21	130	7.0	10.0
3	常玲玲	北京控制工程研究所第十二研究室	4	13	2.0	3.0
4	李慧	北京控制工程研究所第十二研究室	3	3	1.0	1.0