高科技制造业工艺设备用废气处理装置

• 作者: 刘建勋
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 集成电路 集成电路制造工厂 洁净厂房 废气处理装置或尾气处理装置 特殊气体 预防性保养 报警
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 经验介绍
• 页码范围: 83-91
• 页数: 9页
• 字数: 8320字
• 语种: 中文

摘要

主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中,工艺设备尾气除害用的废气处理装置Local Scrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建勋		1	3	1.0	1.0