Honeywell EPKS平台下实现四氯化硅氢化工艺程序控制

• 作者: 周万礼 张新红 黄庆鸿
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 氢化工艺 EPKS 程序控制
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 冶炼
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2352字
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法生产多晶硅中,四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作,很难将各项工艺指标进行精确控制.实际生产中,不断进行工艺优化及操作改进,现有Honeywell EPKS平台进行自动程序设计及应用,增加多项自动连锁控制,实现了工艺生产过程程序控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周万礼		3	8	2.0	2.0
2	黄庆鸿		3	4	2.0	2.0
3	张新红		4	7	2.0	2.0