Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜电容的尺寸效应研究

• 作者: 张光强 肖勇 蒋书文 许程源
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡(BST) 薄膜 尺寸效应 平行板电容 Q值
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TM53
• 字数: 1838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.02.008

摘要

采用射频磁控溅射和微细加工技术制备了不同尺寸的钛酸锶钡(Ba0.5Sr0.5TiO3,BST)平行板电容,研究了低频和高频条件下不同尺寸BST平行板电容的电容密度和Q值的变化情况.结果表明,由于存在边缘效应,BST薄膜电容的电容密度及Q值都具有尺寸效应.低频时,随着电容面积增大,电容密度减小,Q值增大.高频时,随着电容面积增大,电容密度及Q值减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
2	肖勇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	16	113	7.0	10.0
3	许程源	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
4	张光强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0