一种新型多晶硅还原炉流动与传热的数值模拟

• 作者: 刘春江 袁希钢 黄哲庆
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 多晶硅 还原炉 数值模拟
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 流体力学与传递现象
• 页码范围: 484-489
• 页数: 6页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0438-1157.2013.02.011

摘要

在传统多晶硅还原炉结构基础上,提出了一种内部流场为平推式流动的新型多晶硅还原炉,并采用计算流体力学方法研究了该还原炉内的速度场和温度场.流场模拟结果表明,新型多晶硅还原炉内混合气的流动基本上实现了平推式流动；温度场模拟结果发现,通过改变操作参数,采用平推式流动可实现炉内温度场的控制,解决了传统还原炉局部温度过高的问题,可避免硅粉的产生,长期保持还原炉内壁面的抛光效果,降低还原炉辐射电耗；计算结果表明,在相同的条件下,采用新型多晶硅还原炉的还原电耗较传统还原炉可降低8.5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘春江	天津大学化工学院化学工程联合国家重点实验室	67	522	13.0	18.0
2	袁希钢	天津大学化工学院化学工程联合国家重点实验室	108	1001	17.0	25.0
3	黄哲庆	天津大学化工学院化学工程联合国家重点实验室	4	28	3.0	4.0