主光轴平行于基底的微透镜阵列制作与测试

• 作者: 吴淑娟 姚德启 张勇 张斌珍 范新磊
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列 SU-8 水浴光刻 球面 成像检测
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 47-51
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.01.009

摘要

应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200 μm.利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微透镜的表面形貌及曲率半径进行测量,并搭建光学观测平台,测得透镜焦距并观察成像效果.经观测,所加工球面微透镜具有较好的表面形貌和成像效果.基于此方法加工的微透镜阵列,主光轴平行于基底,因而便于与其他光学系统进行片上集成,完成对光线的聚焦,最终实现光开关、扫描成像等功能.此微透镜阵列也将集成在微流式细胞仪上,用于样本流的荧光检测,可极大提高检测精度.