微型电感耦合等离子体激发源对气体样品定性分析探索

• 作者: 周颖昌 孙荣霞 崇娜 李津娥 王永清
• 来源期刊: 分析化学
• 关键词: 微型 电感耦合等离子体 激发源 甲烷 乙炔
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 1923-1927
• 页数: 5页
• 字数: 3360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1096.2013.30595

摘要

设计了一种由微电路组件和放电室等构成的微型ICP(Inductively coupled plasma)激发源.微电路组件刻蚀在一块PCB(Printed circuit board)上,包括平面螺旋线圈、平面交指的谐振电容和阻抗匹配电容,表面镀金处理.放电室为不锈钢圆柱体,一侧为石英玻璃出光口,另一侧以氟橡胶0型密封环与微电路组件真空吸合,辅以真空、进气装置.采用100 Pa氩气工作,RF(Radio frequency)功率5～20 W,频率13.56 MHz.采用该激发源和爱万提斯AvaSpec-ULS3648光纤光谱仪等搭建成微型ICP光谱仪,对甲烷、乙炔样品进行激发测试,检测到乙炔基团(C≡C 471.52 nm,C≡C 516.52 nm等)、甲烷基团(CH3+ 348.4 nm,C≡C512.9 nm等).表明微型ICP激发源对乙炔和甲烷样品具有激发能力,可用于定性分析.此微型ICP激发源体积小、成本低、载气耗量小,随着研究的深入,该微型ICP激发源有望成为一种新的光谱仪气体样品激发源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙荣霞	河北大学电子信息工程学院	42	210	7.0	13.0
2	周颖昌	河北大学电子信息工程学院	7	20	3.0	4.0
3	王永清	河北大学电子信息工程学院	19	82	5.0	8.0
4	李津娥	河北大学电子信息工程学院	1	4	1.0	1.0
5	崇娜	河北大学电子信息工程学院	1	4	1.0	1.0