基于聚酰亚胺基底的热线式剪切应力传感器

• 作者: 刘武 吴校生 孙永明 崔峰 张卫平 陈宏海 陈文元
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性 热剪切应力传感器 恒温模式 聚酰亚胺 铂
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 40-46
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.01.008

摘要

利用非硅微机械加工技术,制作了一种柔性热线式剪切应力微传感器.该传感器以聚酰亚胺膜为基底,可与被测曲面物体紧密贴合,具有较好的测量适应性和准确性.传感器采用线性度好、温度系数较高的铂金属制作敏感热线.为减少对被测流场的干扰且便于传感器的信号传输,传感器使用了背面引线结构.设计了恒温工作模式的传感器检测电路,并对电路的工作原理和参数设置进行了详细分析.对传感器进行了风洞实验,绘制得到剪切应力与输出电压的关系曲线.实验结果表明,设计制作的传感器及其电路可行.