一种新型楔形膜在真空中的制作方法及测试结果

• 作者: 付绍军 刘正坤 蒋晓龙 黄涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 楔形膜 白光干涉 测量 精度
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新型楔形膜在真空中的制作方法,可以替代白光干涉位移传感器中的关键元件.该方法采用两层复制技术,用有机材料SU8胶作为楔形膜中间的材料.同时,搭建了白光干涉位移传感器系统,对制作的楔形膜进行了测量.实验结果表明,该解调系统具有较好的稳定性及较高的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄涛	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	90	878	14.0	27.0
2	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
3	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0
4	蒋晓龙	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	2	1.0	1.0