纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制

• 作者: 刘西锋 夏善红 董汉鹏
• 来源期刊: 化学学报
• 关键词: 纳米氧化锡 催化燃烧传感器 微机电系统(MEMS) 氢气检测
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 657-662
• 语种: 中文
• DOI: 10.6023/A12121022

摘要

研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(MicroElectro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4％浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1％ H2,线性度为99.4％.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95％以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	刘西锋	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
6	董汉鹏	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	11	2.0	3.0