热温差型微流量传感器的温度补偿方法研究

• 作者: 代富 何移 周斌 官承秋 高杨
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 流量传感器 有限元分析 加热电阻 温差 恒流电路
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 34-39
• 分类号: TH703|TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.01.007

摘要

热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等.通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的温度差值为恒定值时,传感器的输出信号偏差较小.从环境温度与加热电阻温度差值恒定的思路出发,结合目前补偿方法存在的不足——导线引入误差、环境温度检测电阻的自热效应使其检测出错误的环境温度、加热电阻受被测流体冷却后使测量发生偏差以及供电电源波动的影响等,提出了一种可行的补偿方案,包括对前端信号采集电路的优化和后续单片机电路的设计,使影响流量传感器测量性能的诸多因素被削弱,且控制也更灵活.通过分析验证,在相同测试条件下,所提出的方法比常用补偿方法的测试精度高出约1.2％,误差为0.2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	代富	西南科技大学信息工程学院	5	24	3.0	4.0
6	官承秋	西南科技大学信息工程学院	8	32	4.0	5.0
10	周斌	西南科技大学信息工程学院	11	64	5.0	7.0
11	何移	西南科技大学信息工程学院	11	65	5.0	7.0