ZrCN/VN纳米结构多层膜的微结构、力学性能及摩擦性能研究

• 作者: 喻利花 曹峻 许俊华 马冰洋
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZrCN/VN纳米结构多层膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 863-866
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.09.04

摘要

通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同调制比的ZrCN/VN纳米结构多层膜,采用X射线衍射、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜的微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究.结果表明,在ZrCN/VN多层膜中,改变调制比,多层膜始终呈现fcc结构,并且沿(111)面择优生长,当VN调制层厚度为0.2nm时ZrCN/VN多层膜的硬度达到最大值,为34.5 GPa.常温摩擦系数随VN层厚度的增加先增加后减小,高温摩擦系数逐渐降低,Magnéi相V2O5的生成是摩擦系数降低的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	马冰洋	江苏科技大学材料科学与工程学院	7	20	3.0	4.0
4	曹峻	江苏科技大学材料科学与工程学院	8	43	4.0	6.0