光栅刻划中工作台过冲现象的改善

• 作者: 倪争技 张大伟 洪瑞金 王忠坦 黄元申
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅尺 过冲 弹簧刚度 分度精度
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: ?光机电控制?
• 页码范围: 90-94
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 2774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2013.10.015

摘要

在分度运动控制系统中以 DMC2210控制卡为核心，采用光栅尺为分度运动反馈器件，实现了高精度的实时监测反馈。针对工作台“过冲”现象进行了两方面的分析优化：一方面，分析了步进电机减速方式对刻划效果的影响，通过分段减速初步改善了工作台“过冲”现象；另一方面，分析并模拟了弹簧(联接工作台和分度丝杠螺母)刚度对工作台“过冲”问题的影响，更换大刚度弹簧后，很大程度改善了工作台“过冲”现象。改进后对光栅刻线密度为79 g/mm的中阶梯光栅进行了多次刻划试验，计算的机器分度精度均在5 nm以内，选取其中一组较好的数据(机器分度精度为2.887 nm)与之前多次刻划试验中较好的一组数据(机器分度精度为7.759 nm)进行了比较，结果表明刻划机分度精度得到很大的提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	117	391	11.0	15.0
2	黄元申	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	56	348	11.0	16.0
3	倪争技	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	43	341	12.0	17.0
4	王忠坦	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	1	2	1.0	1.0
5	洪瑞金	上海理工大学光电信息与计算机工程学院	19	27	2.0	4.0